MEMS技术--新兴的高价值MEMS传感器和器件:
现在和未来发展趋势
MEMS Technology: Emerging High Value MEMS Sensors and Devices:
Current Status and Future Trends
2018年09月17日-18日 南京
一、为什么参加：
MEMS（微电子机械系统）无疑是21世纪的关键技术，因为它们可以为人类所面临的几乎所有重大社会挑战做出贡献，例如可持续增长、流动性、环境问题、健康和可再生能源。 这个迷人的多学科研究领域肯定会在未来几年强劲增长，并已经成为一个重要的经济因素。 基于MEMS的技术目前估计全球收入为150-200亿美元，并且在可预见的未来预计年增长率为15-20％。
短期课程将重点关注新兴的高价值的MEMS传感器和器件。这与低价MEMS器件形成对比，低价MEMS器件通常存在于大批量消费电子产品中，主要包括物理传感器，例如加速度计、陀螺仪和压力传感器，现在可以在智能手机中找到。高价值的MEMS传感器和器件将其性能和规格推向技术极限。因此，针对中小规模但高性能的市场，其中单位成本不是最重要的约束。 示例包括用于航空航天应用的惯性传感器和石油和天然气资源检测，用于生物医学应用的基于共振的传感器，用于自动驾驶车辆的传感器（例如用于LIDAR的MEMS扫描镜）、能量采集器，用于环境监测的化学传感器以及用于医疗和工业应用的压力传感器。
短期课程将回顾工业和学术界的最新趋势，并重点介绍有望用于未来发展的新兴技术，如耦合谐振器、压电传感器和器件以及封装，这通常是一个低估的领域。
参加短期课程后，参与者将对当前高价值MEMS传感器和器件其设计和制造有充分的了解，为进入该领域目前提供的商业机会做好充分准备。
MEMS (Micro-electro-mechanical systems) are undoubtedly an enabling key technology for the 21st century, as they can contribute to solutions for practically all grand societal challenges humanity is facing, such as sustainable growth, mobility, environmental problems, health and renewable energy. This fascinating and multidisciplinary research field will certainly strongly grow over the next years, and already represents an important economic factor. MEMS based technology currently has an estimated worldwide revenue of 15-20 billion USD and a forecast of 15-20% annual growth for the foreseeable future.
The short course will focus on emerging high value MEMS sensors and devices. This is in contrast to low price MEMS devices, typically found in high volume consumer electronics, mainly comprising physical sensors such as accelerometers, gyroscopes and pressure sensors, which now can be found in very smartphone. High value MEMS sensors and devices push their performance and specifications to the technical limits. There are therefore aimed at low-to mid-volume, but high performance markets, where unit cost is not the foremost constraint. Examples include inertial sensors for aerospace applications and oil & gas resource detection, resonant based sensors for bio-medical applications, sensors for autonomous vehicles (e.g. MEMS scanning mirrors for LIDARs), energy harvesters, chemical sensors for environmental monitoring and pressure sensors for medical and industrial applications.
The short course will review recent trends in industry and academia and highlight emerging technologies that are promising for future developments, such as coupled resonators, piezoelectric transducers and devices, as well as packaging, which is often an underestimated field.
After attending the short course, the participants will have a sound knowledge in current high value MEMS sensors and devices, their design and fabrication, well prepared to enter the commercial opportunities this field currently is offering.
二、谁应该参加：
计划进入或最近进入MEMS领域的公司的工程师，计划从事MEMS博士或硕士课题研究的研究生、大学生。
Engineers from companies planning to enter or recently have entered the field of high value MEMS. Postgraduate university students planning to work on MEMS for their PhD or Master project.
三、组织单位：
主办单位
工业和信息化部人才交流中心（MIITEC）
承办单位
上海林恩信息咨询有限公司
协办单位
南京江北新区人力资源服务产业园
电子产品世界
中国半导体行业协会集成电路分会
江苏省半导体行业协会
南京市集成电路行业协会
四、课程安排：
课程时间：
2018年09月17日—18日 （2天）
报到注册时间： 2018年09月17日， 上午8:30-9:00
程地点：南京江北新区产业技术创研园（南京市浦口区团结路99好孵鹰大厦A座3楼）
五、课程注册费用：
（1）注册费用：4600元/期
（2）芯动力合作单位学员：4200元/期
（3）学生福利：全国高校学生（本硕博）参加国际名家讲堂，享受标准注册费半价福利（2300元/期）
（4）老学员福利：
凡已付费参加任意一期2018年国际名家讲堂，均可本人半价注册费参加后续6个月内任意一期2018年国际名家讲堂
注：
1.学生注册费，需提供学生证或所在学校出具的学生证明（加盖学校或学院公章），扫描件发lynne@miitec.cn，审核通过后即可参加。
2.含授课费、场地租赁费、资料费、活动期间午餐，不含学员交通、食宿等费用，需自理。
国信芯世纪南京信息科技有限公司是工业和信息化部人才交流中心的全资子公司，为本期国际名家讲堂提供会务服务并开具发票，发票内容为培训费。
请于2018年9月14日前将注册费汇至以下账户，并在汇款备注中注明款项信息（课程名称+单位+参会人姓名）。
付款信息：
户 名：国信芯世纪南京信息科技有限公司
开户行：中国工商银行股份有限公司南京浦珠路支行
帐 号： 4301014509100090749
或请携带银行卡至活动现场，现场支持 POS 机付款。
六、报名方式：
请各单位收到通知后，积极选派人员参加。报名截止日期为2018年09月14日,请在此日期前将报名回执表发送Email至：
邮件：lynne@miitec.cn
报名咨询电话：021-51096090；
或者添加微信：moorext（微信号），暗号：MEMS课程。
七、课程具体安排：
第一天(9月17日)
专题 1 : 简介：什么是 MEMS?
- MEMS来自哪里?
- MEMS、微系统技术 和纳米技术的定义
- 缩放规则
- 一些现实生活例子
专题2 : 高价值 MEMS的经济现状和预测
- 当前市场及其经济状况
-各种MEMS器件及其应用的市场数据
- 新兴高价值应用市场
- 主要的MEMS竞争者
讨论会(30min)
专题3 : 高价值MEMS传感器和器件技术
-转换技术（电容式、压阻式、压电式、谐振器）
- MEMS制造工艺
-用于高价值MEMS的接口和控制电路
讨论会 (30min)
第二天（9月18日）
专题1 : 高性能惯性传感器
- 加速计
- 陀螺仪
- 应用领域
- 实际例子
专题2 : 高性能MEMS压力传感器
- 工作原理
-用于汽车应用的压力传感器
-用于消费者应用的压力传感器
-用于医疗应用的压力传感器（有源植入）
讨论会 (30min)
专题 3 : 生物医学和生化传感器和器件
- 植入式传感器和器件
- 环境传感器
总结和讨论反馈 (30mins)
八、教授简介：
Michael Kraft 教授
Michael Kraft 是鲁汶大学电气工程系教授，从2015年至2017年，他在列日大学电气工程和计算机科学系任教，2012年至2014年在德国杜伊斯堡的弗劳恩霍夫微电子电路与系统研究所工作，在那里他领导微系统和纳米系统部门。他同时在杜伊斯堡 - 埃森大学担任微集成和纳米系统教授。从1999年到2012年，他是英国南安普顿大学的一名教师和微系统技术教授。同时，他还是南安普顿纳米加工中心的主任。他1993年毕业于在弗里德里希亚历山大大学 - 埃尔兰根 - 纽伦堡的电气和电子工程专业。1997年，他获得考文垂大学博士学位，开发MEMS加速度计。然后，他在加州大学伯克利分校传感器和执行器中心工作了两年，致力于集成MEMS陀螺仪。
他在微纳制造技术、微传感器和驱动器及其接口电路方面拥有20年的经验，尤其是电容式传感器。他对MEMS和纳米技术有着广泛的兴趣，从工艺开发到MEMS和纳米器件的系统集成。 2005年，他的研究组开发出世界上第一个用于MEMS加速度计的五阶Σ-Δ调制器（SDM）接口，并于2007年开发出用于MEMS陀螺仪的带通SDM。他在用于传感和驱动应用的静电悬浮微物体方面做了突破性的工作，并开发了几种新颖的微制造原子和离子芯片。作为作者或共同作者，他发表了250多篇同行评审的期刊和会议出版物。他还撰写了三本有关MEMS的教科书，并编写了一本关于MEMS用于航空航天和汽车应用的书籍。他曾在IEEE Sensors，Eurosensors，Transducers，ISSCC，MNE和MME等国际会议的若干技术委员会任职，同时还是IEEE Sensors Letters的高级编辑和Sensors and Sensor Systems Journal的副主编。他还为许多活跃在MEMS领域的公司做过工业咨询。
附件下载：
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